低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。

　　低温等离子净化器又称低温等离子废气净化器。 本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。

　　等离子光解废气处理设备是等离子废气净化和UV光解废气净化设备两种设备相结合而成的，设备主要分为紫外线光解区和等离子分解区，恶臭气体先经过紫外线光解区反应然后再进入等离子分解区进一步分解，经多级净化后使排放的恶臭气体达标后排放。

　　低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子体处理废气的原理为：当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。